ＨＯＭＥ > ユケンの技術 > メンテナンス洗浄：メンテナンス洗浄とは
メンテナンス洗浄とは、装置・機器に汚れが付着あるいは結晶粒子や皮膜を形成して、装置・機器本来の機能（性能）を阻害する状態にならないように、計画的に汚れを系外に排出し、正常な状態に戻す洗浄のことです。
ここでは、当社に関係するメンテナンス洗浄の効果についてご紹介致します。
・エネルギーコスト削減=CO2(二酸化炭素）排出量削減
・冷却水使用量削減
・成形不良削減（歩留まり向上）
・結晶によるライン停止（センサー誤作動）防止
・結晶の基板アタックによる不良削減（レジスト破壊）
・搬送系部品の結晶固着防止
・スプレー噴霧系の均一化
・エッチング装置部品交換頻度の低減
・装置不具合箇所の早期発見 → 装置寿命延長
・駆動部のスムース化
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