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表面处理的基础知识

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PVD处理定义

PVD处理是表面改质技术的一种，金属材料上粘膜薄膜生成的加工技术。

由于这种薄膜可以达到金属材料的耐磨耗性，耐咬合性，平滑性提高，耐溶着性，耐热性，耐蚀性，等种种性能。

使用范围广阔，切削工具，模具，汽车零件，钟表，医疗机器等其他利用幅度广泛。

各种表面改质技术的比较

处理法 PVD＊ CVD＊ TD＊
原理 等离子反应 热化学反应 热反应析出扩散
膜种 TiN、TiCN、TiAlN、
CrN、DLC他		 TiN、TiC、TiCN、
Al2O3他		 VC
处理温度（度） 200～600 700～1200 1000～1100
寸法精度 ◎ △ △
密着性 ○ ◎ ◎
在处理 ◎ △ △
*
PVD：Physical Vapor Deposition
CVD：Chemical Vapor Deposition
TD：Toyota Diffusion Coating Process

近年模具高精度化的倾向，其满足要求误差小的PVD法合适，CVD法，TD法相比较有以下长处。

① 由于处理温度低处理物的寸法变化极小
② 硬化处理的氮化和复合处理性能更加提高
③ 模具可以再处理提高利用次数