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PVD処理について

PVD処理とは

PVD処理は表面改質技術のひとつで金属材料にセラミックスの薄膜を生成させる加工技術です。

この薄膜により、金属材料は耐摩耗性、耐かじり性、滑り性向上、耐溶着性、耐熱性、耐食性等の様々な機能を得ることが出来ます。

その適用範囲は広く、切削工具、金型、自動車部品、時計、医療機器他で幅広く利用されています。

各種表面改質技術の比較

処理法 PVD* CVD* TD*
原理 プラズマ反応 熱化学反応 熱反応析出拡散
膜種 TiN、TiCN、TiAlN、
CrN、DLC他
TiN、TiC、TiCN、
Al2O3
VC
処理温度(℃) 200~600 700~1200 1000~1100
寸法精度
密着性
再処理
PVD:Physical Vapor Deposition(物理的蒸着法)
CVD:Chemical Vapor Deposition(化学的蒸着法)
TD:Toyota Diffusion Coating Process(TDプロセス)

PVD処理のメリット

近年、金型は高精度化の傾向にあり、その要求に応えるには歪みの少ないPVD法が適しており、CVD法、TD法と比較して下記の大きなメリットがあります。

①処理温度が低いため処理物の寸法変化が極少
②硬化処理である窒化との複合処理により更なる機能向上可能
③金型の再処理によるリユースが複数回可能